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中國首台國產商業電子束光刻機“羲之”進入應用測試分享到：
      香港中通社8月14日電 中國首台國產商業電子束光刻機“羲之”近日進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標誌著量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。
中國首台國產商業電子束光刻機“羲之”（圖源：“餘杭發佈”公眾號） 據《杭州日報》14日報道，在測試現場，浙江大學餘杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著，一台模樣酷似大型鋼櫃的機器正在做應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數。“這不是普通的機器，而是一支能在頭髮絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人稱，依託浙江省重點實驗室，這台研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。 “羲之”取名自中國古代書法家王羲之，“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。”研發團隊相關負責人介紹，這台設備專攻量子芯片、新型半導體研發的核心環節，它通過高能電子束在矽基上“手寫”電路，精度達到0.6納米，線寬8納米，可靈活修改設計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫，特別適合芯片研發初期的反復調試。 另據“餘杭發布”14日消息，“羲之”的落地具有破局意義。此前，此類設備受國際出口管制，中國國內頂尖科研機構和企業長期無法採購，“羲之”的落地徹底打破這一困局，目前已與多家科研機構展開接洽。 “餘杭發布”稱，“羲之”電子束光刻機的成功應用測試，是中國高端半導體核心裝備國產化的重大突破。這把自主可控的“中國刻刀”，將為加速中國國產高端芯片的研發進程、搶佔未來科技制高點提供堅實的裝備基礎。（完） 【編輯：淩玉輝】
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